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设备制造
镀膜设备
公司目前已经自主设计和开发MSIP和MAMS两个系列6大品类新型纳米非晶薄膜材料制备设备和多种类型的薄膜性能检测设备。
MSIP镀膜设备
特点
A windows操作系统下全自动镀膜控制程序全方位精准控制薄膜生长过程；
B 全设备采用最优秀的高精度控制元器件，精准把控薄膜内部的成份梯度；
C 自主研发的磁控管与精心设计的镀膜控制程序精确匹配，均一性偏差不大于1%；
D 低温沉积，工作温度控制在诱发基体组织发生变化的温度内；
E 品质均一性好，炉内所有位置涂层厚度偏差小于5％；
F 可重复性好，同种工艺不同炉次制备的涂层厚度偏差不大于5%；
G 配套完善：多年实践经验积累了提供完美的工业应用成套解决方案；
H 服务优秀：提供保姆式的售后服务与终生技术支持；
类型
| 配置 /型号 | 真空系统 | 炉体结构 | 控制方式 |
| MSIP850/4-S | 三级真空泵：Edwards原装扩散泵+洛茨泵+机械泵 | 侧开式 | 全手动机械控制 |
| MSIP850/4-Pro | 三级真空泵：Edwards原装扩散泵+洛茨泵+机械泵 | 侧开式 | 计算机程序控制 |
| MSIP850/4-Ultra | 三级真空泵：Edwards原装扩散泵+洛茨泵+机械泵 | 侧开式 | 计算机程序控制+手动控制 |
相关技术参数
| 序号 | 项目 设备型号 | CFMS850/4-Ultro | CFMS850/4-Pro | CFMS850/4-S |
1 | 外形尺寸（安装后尺寸：长×宽×高） | 4.0×4.0×2.6m | 4.0×4.0×2.6m | 4.0×4.0×2.6m |
1.1 | 主机 | 1.5×1.4×2.4m | 1.5×1.4×2.4m | 1.5×1.4×2.4m |
1.2 | 控制柜 | 2.0×0.8×2.2m | 1.0×0.8×2.2m | 1.0×0.8×2.2m |
1.3 | 制冷机 | 1.0×0.7×2.0m | 1.0×0.7×2.0m | 1.0×0.7×2.0m |
2 | 额定功率 | 50KW | 45KW | 45KW |
3 | 额定电压 | 400V（±10％） | 400V（±10％） | 400V（±10％） |
4 | 炉体结构 | |||
4.1 | 炉体实际尺寸（直径×高） | Φ700×1000mm | Φ700×1000mm | Φ700×1000mm |
4.2 | 炉腔有效尺寸 | Φ500×700mm | Φ500×700mm | Φ500×700mm |
4.3 | 炉门开启方式 | 侧开 | 侧开 | 侧开 |
4.4 | 炉体冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
4.5 | 炉体设计允许最大载荷 | 500Kg | 500Kg | 500Kg |
4.6 | 公转台直径 | 450mm | 450mm | 450mm |
4.7 | 自转装卡台设计允许最大载荷 | 100Kg | 100Kg | 100Kg |
4.8 | 自转装卡台数量 | 6 | 6 | 6 |
4.9 | 靶位数 | 4 | 4 | 4 |
4.10 | 靶材尺寸（长×宽） | 725×175mm | 725×175mm | 725×175mm |
4.11 | 高精度测温热电偶数量 | 2 | 无 | 无 |
4.12 | 自动档板 | 选装 | 无 | 无 |
4.13 | 炉体观察窗数量 | 3 | 3 | 3 |
5 | 溅射电源 | |||
5.1 | 6KW Advanced Energy PNCL 靶电源（精度±0.01A） | 4台 | 4台 | 4台 |
5.2 | 10KW Advanced Energy PNCL 偏压电源（精度±1V） | 1台 | 1台 | 1台 |
6 | 真空系统 | |||
6.1 | 机械泵（BOC Edwrds原装泵） | E2M40 | E2M40 | E2M40 |
6.2 | 罗茨泵（BOC Edwrds原装泵） | EH500 | EH250 | EH250 |
6.3 | 扩散泵（BOC Edwrds原装泵） | B35032978 | B35032978 | B35032978 |
6.4 | 高真空计 | WRG-S | WRG-S | WRG-S |
6.5 | 前级真空计 | APGX-M-NW16 | APGX-M-NW16 | APGX-M-NW16 |
6.6 | 真空连接锁 | IS16K | IS16K | IS16K |
6.7 | 设计镀膜其实真空度 | 4.0×10－3Pa | 4.0×10－3Pa | 4.0×10－3Pa |
6.8 | 极限真空度 | 1.4×10－4Pa | 3.4×10－4Pa | 3.4×10－4Pa |
6.9 | 冷态漏气率 | 2.0×10－1Pa/h | 3.0×10－1Pa/h | 3.0×10－1Pa/h |
6.10 | 抽真空时间（达到镀膜起始真空度） | <30min | <50min | <50min |
7 | 气氛控制系统 | |||
7.1 | 多通道气体流量控制器（（BOC Edwrds原装泵）） | 4通道 | 2通道 | 2通道 |
7.2 | 气体质量流量控制器（美国MKS原装，0.1SCCM） | 3个 | 2个 | 2个 |
7.3 | OEMTM反应气体控制器级压电阀 | 属选件 | 属选件 | 属选件 |
8 | 控制系统 | |||
8.1 | 控制方式 | 计算机/手动双模控制 | 计算机控制 | 全手动控制 |
8.2 | PLC（德国Vipa原装，军品级） | 有 | 有 | 有 |
8.3 | 工业控制计算机（Dell，军品级，DVD刻录） | 有 | 有 | 无 |
8.4 | 操作系统（中文版Windows Xp Pro） | 有 | 有 | 无 |
8.5 | 远程控制（附带PC Anyway软件级随机Modem） | 有 | 有 | 无 |
8.6 | USP不间断电源（1500W•H） | 有 | 有 | 无 |
9 | 软件特性 | |||
9.1 | 实时控制/数据采集功能 | 有 | 有 | 无 |
9.2 | 视窗下创建各种工艺文件/自动控制工艺流程 | 有 | 有 | 无 |
9.3 | 自带数据库/工艺库/维修包/在线帮助/报警/故障分析 | 有 | 有 | 无 |
9.4 | 管理员权限级别/用户密码设定功能 | 有 | 有 | 无 |
10 | 全手动操作 | 有 | 有 | 有 |
11 | 保质期 | 1年 | 1年 | 1年 |
可制备涂层种类
镀层种类 | 镀层名称 | 应用领域 |
硬膜镀层 | NGH系列纳米梯度超硬镀层 | 各类高速钢、硬质合金刀具工具及各种模具，PCB用微钻锣刀 |
TiAlN超硬镀层 | 适用于各类金属切削用铣刀 | |
TiN超硬镀层 | 适用于各类丝锥 | |
自润滑镀层 | Graphit-IC自润滑镀层 | 适用于有减磨要求的各类精密金属制品 |
MoST自润滑镀层 | 适用于有减磨要求的各类精密金属制品 |
MAMS镀膜设备
完美搭配：磁控溅射与多弧溅射技术有机融合，扬长避短，实现镀膜；
工艺先进：镀膜工艺设计灵活，可制备多种色系薄膜，满足产品设计需要；
操控简便：设备操作界面简单，全自动“傻瓜化”运行，有效避免人为失误；
品质均一：采用最优秀的元器件，运行稳定、控制精确，工艺可重复性强；
适应性强；适应性强，能够满足多种行业和产品的加工需要；
体系完善：体系完善，提供全方位的售前、售中和售后服务支持。
类型
| 配置/ 型号 | 真空系统 | 炉腔尺寸 | 控制方式 |
MAMS800SA | 两级真空泵：装扩散泵+机械泵 | ψ800×1000 | 全手动控制 |
MAMS 1000SA | 两级真空泵：装扩散泵+机械泵+维持泵 | ψ1000×1200 | PLC程序控制+全手动控制 |
MAMS 1200SA | 三级真空泵：装扩散泵+洛茨泵+机械泵+维持泵 | ψ1200×1200 | PLC程序控制+全手动控制 |
技术参数
| 序号 | 项目/设备型号 | DMS800AS | DMS1000AS | DMS1200AS |
1 | 外形尺寸（安装后的尺寸：长×宽×高） | 5x4x2.2m | 5x4x2.2m | 6x5x2.2m |
1.1 | 主机 | 4×1.2×2.2m | 4×1.5×2.2m | 4×2×2.2m |
1.2 | 控制柜 | 1×0.8×2m | 1×0.8×2m | 1×1.6×2m |
2 | 制冷机+循环水箱 | 5×2×1.5m | 5×2×1.5m | 5×2×1.5m |
3 | 额定功率 | 35KW | 45KW | 65KW |
4 | 额定电压 | 380V(+/-10%) | 380V(+/-10%) | 380V(+/-10%) |
5 | 炉体结构（SUS304 双层带水冷套） | |||
5.1 | 炉腔实际尺寸（直径×高） | Φ800×1000mm | Φ1000×1100mm | Φ1200×1300mm |
5.2 | 炉腔有效尺寸 | Φ600×750mm | Φ800×850mm | Φ1000×1000mm |
5.3 | 炉门开启方式 | 侧开 | 侧开 | 侧开 |
5.4 | 炉体冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
5.5 | 公转台直径 | Φ400mm | Φ600mm | Φ800mm |
5.6 | 炉体设计允许最大载荷 | 150Kg | 180Kg | 200Kg |
5.7 | 自转装卡台数量 | ≥6 | ≥9 | ≥12 |
5.8 | 自装装卡台设计允许最大载荷 | 25Kg | 50Kg | 80Kg |
5.9 | 靶位数 | 6+1 | 6+2 | 6+2或4 |
5.10 | 靶材尺寸（弧靶） | Φ100×40mm | Φ100×40mm | Φ100×40mm |
5.11 | 靶材尺寸（圆柱靶） | Φ70×900mm | Φ70×1020mm | Φ70×1020mm |
5.12 | 高精度测温热电偶数量 | 2 | 2 | 2 |
5.13 | 真空室内衬板 | 2 | 2 | 2 |
5.13 | 炉体观察窗数量 | 2 | 2 | 2 |
6 | 溅射电源 | |||
6.1 | 2x6KW 150A 直流逆变溅射电源（控制精±0.5A） | 3台 | 3台 | 3台 |
6.2 | 30KW 中频溅射电源（控制精度±1V） | 1台 | 1台 | 2台+ |
6.3 | 20KW 逆变脉冲偏压电源 （控制精度±1V） | 1台 | 1台 | 1台 |
7 | 真空系统 | |||
7.1 | 机械泵 | 1台 | 1台 | 1台 |
7.2 | 罗茨泵 | 无 | 无 | 1台 |
7.3 | 扩散泵 | KT400 | KT500 | KT600 |
7.4 | 高真空计 （电离规） | ZJ-27 | ZJ-27 | ZJ-27 |
7.5 | 前级真空计 （热偶规） | ZJ-51 | ZJ-51 | ZJ-51 |
7.7 | 设计镀膜起始真空度 | 6.0×10-3Pa | 6.0×10-3Pa | 6.0×10-3Pa |
7.8 | 极限真空度 | 3.0×10-4Pa | 3.0×10-4Pa | 3.0×10-4Pa |
7.9 | 冷态漏气率 | 2.0×10-1Pa/h | 3.0×10-1Pa/h | 3.0×10-1Pa/h |
7.10 | 抽空时间（产品进炉到镀膜起始真空镀） | ﹤30min | ﹤30min | ﹤30min |
8 | 气氛控制系统 | |||
8.1 | 多通道气体流量控制器 | 3通道 | 3通道 | 3通道 |
8.2 | 气体质量流量控制器 | 3个 | 3个 | 3个 |
9 | 控制系统 | |||
9.1 | 控制方式 （可选） | 自动/手动双模控制 | 自动/手动双模控制 | 自动/手动双模控制 |
9.2 | PLC（日本MITSUBISHI原装） | 有 | 有 | 有 |
9.3 | 触摸屏 | 有 | 有 | 无 |
10 | 软件特性 | |||
10.1 | 实时控制/数据采集功能 | 有 | 有 | 无 |
10.2 | 视窗下创建各种工艺文件/自动控制工艺流程 | 有 | 有 | 无 |
10.3 | 自带数据库/工艺库/报警/故障提示分析 | 有 | 有 | 无 |
11 | 全手动操作 | 有 | 无 | 有 |
12 | 质保期 | 一年 | 一年 | 一年 |
可制备涂层种类
| 镀层种类 | 镀层名称 | 应用领域 |
装饰镀层 | TiN、ZrN、金色系列 | 各类刀片、餐具、锁具、卫浴、五金洁具、陶瓷、玻璃等五金零件 |
TiC、CrC黑色系列 | 钟表类、手机、数码产品外壳、灯饰卫浴、眼镜架等五金制品 | |
TiCN、TiAlN咖啡色系 | 钟表类、手机、数码产品外壳、灯饰卫浴、眼镜架等五金制品 |
