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设备配件
| 主要配件种类 | 溅射磁控管 | 溅射弧源 | 溅射靶材 | |||
矩形平面 | 柱形磁控管 | 多弧源 | 矩形平 | 柱状靶材 | 圆形靶材 | |
配件尺寸范围 | W100～200mm | Φ50～Φ70 | Φ60 | 可根据客户要求提供各类配套靶材 | ||
备注 | 以上尺寸仅为参考，可根据客户要求提供各种规格磁控管 | |||||
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